レーザーマイクロ加工機 microPREP™ PRO FEMTO

金属用

半導体、太陽電池、ガラス、ディスプレイ市場向けのレーザー微細加工およびロール・ツー・ロール・レーザーシステムの業界リーダーであるマイクロマック社は、本日、高速アトム・プローブ・トモグラフィー（APT）および断面試料作製用のmicroPREP™ PRO FEMTOレーザー微細加工システムを発表した。 原子スケールの材料分析に不可欠なニーズを満たすmicroPREP PRO FEMTOシステムは、フェムト秒レーザーと最適化された光学セットアップを特徴としており、集束イオンビーム(FIB)ミリングでは何時間もかかる材料を数分でミクロン単位の精度で除去することができ、同時に試料への機械的・熱的損傷を回避することができます。microPREP PRO FEMTOは、自動化されたワークフローにより、APTマイクロチップクーポンを試料から直接作製することを可能にします。これにより、貴重なFIBリソースが解放され、最終的な環状集束ミリングやマイクロチップの研磨などの最終準備工程のみに、よりコスト効率よく利用できるようになります。 鉱業、冶金、材料科学の分野で主要な研究大学であるMontanuniversität Leoben（レオーベン大学）の材料科学科は、最初のmicroPREP PRO FEMTOシステムを購入し、現在、さまざまな異なる材料を対象としたAPT試料の作製に使用しています。MontanuniversitätLeobenの機能材料・材料システム学講座のMichael Tkadletz博士によると、「APTは、現代の高性能材料の知識ベースの開発にとって極めて重要な技術です。