金属イオンを50ppt以下に効果的に還元
メンブレン浄化装置と比較して高い容量
3M™メディアマトリックスの高い内部表面積による曲がりくねった経路
3M™メディアの深さにより、メンブレン精製装置と比較してIX-流体の滞留時間が長くなります。
固定されたメディアマトリックスにより、化学物質のチャネリングがない
3M™ Metal Ion Purifier SCPシリーズフィルターカートリッジは、マイクロエレクトロニクス産業におけるフォトレジストやその他の高純度化学薬品中の金属イオン汚染を低減します。
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