熱式質量流量計 GFM

質量ガス用インライン

デザインの特徴 - FS精度は±1%が標準 - 硬質金属構造 - 0～10sccmから0～1000slpmまでの流量範囲が利用可能 - 最大圧力1000 psig (70 bar) - リークインテグリティ 1 x 10-9 sccs のヘリウム - ＮＩＳＴトレーサブル認証 - 傾斜可能なLCD読み出し機能を内蔵（一部機種 - 0-5 Vdcおよび4-20 mA信号 - 回路保護 - は携帯機としても使える - エンジニアリング単位または0～100%表示 - 積算器オプション 幅広いガスの用途に対応します。N2に対する気体のK係数に基づく校正 PTFE/Kalrez、Viton、ブナおよびEPRのシールと利用できる ガス用熱マスフローメータの低コストなソリューションは、オールボーがモデルGFMマスフローメータラインを導入して紹介しています。 GFM設計は、従来のマスフロー装置の利便性と精度を、これまで実現できなかった低コストで兼ね備えています。これらのメーターには、非腐食性ガス用にはアルミニウムと真鍮、腐食性アプリケーション用には316ステンレス鋼で構成された流路エレメントと組み合わせて、高度な直管センサーが組み込まれています。 動作原理 計量されたガスは、2つの層流路に分かれており、1つは一次流路を通る流路で、もう1つはキャピラリーセンサーチューブを通る流路です。両方の導管は層流を確保するように設計されているため、それらの流量の比率は一定です。 センサチューブ上の2つの精密温度検出用巻線を加熱し、流れが発生するとガスが上流から下流の巻線に熱を伝え、その結果生じる温度差は、センサ巻線の抵抗値の変化に比例します。その結果生じる温度差は、センサー巻線の抵抗値の変化に比例します。