熱式質量流量調節器 AFC series

ガス用精密ステンレススチール製

堅牢な金属構造 ヘリウム漏れの完全性 1 x 10-9 smL/秒 精度±1%フルスケール 積算計オプション 回路保護 回路保護 モデルAFCアナログマスフローコントローラは、気体の流量表示と設定流量の制御を行うように設計されています。 これらのユニットには、ステンレススチール製の流路エレメントと連動した先進のストレートチューブセンサーが組み込まれています。コマンド・モジュールのLED表示は0～100％校正で供給されます。ゼロとスパンの調整はトランスミッタの外側から簡単に行えます。 動作原理 計量されたガスは、一次フロー導管を通るものと、キャピラリーセンサーチューブを通るものの2つの層流経路に分けられます。どちらの流路も層流を確保するように設計されているため、流量比は一定です。 センサーチューブ上の2つの精密温度感知巻線は加熱されており、流れが発生すると、ガスは上流側の巻線から下流側の巻線へと熱を運ぶ。その結果生じる温度差は、センサー巻線の抵抗値の変化に比例する。 ホイートストンブリッジ設計は、センサー巻線の温度依存抵抗勾配をモニターするために使用され、この抵抗勾配は瞬時流量に直線的に比例する。 AFCマスフローコントローラでは、組み合わされたガス流は、適切に選択されたオリフィスを持つ比例電磁バルブを通って流れます。閉ループ制御回路はマスフロー出力を連続的に監視し、設定流量に維持します。 流量は、規定の制限内であれば、温度や圧力の変化に影響されません。