化学気相成長貯蔵マシン ULCoat

ULCoatは、放電後のプラズマにプリカーサーを注入することで、処理面に薄い膜を形成します。 ULCoatは、プラズマノズルの下にプリカーサを気化して注入するシステムです。ULCoatはOMEGA ULS発生装置と組み合わせて使用されます。 標準ユニットは、有機金属プリカーサーを使用してSiOxを成膜するように設計されています。その他のレシピも開発可能です。 AcXys Technologiesのプロセス開発ラボは、研究開発契約のもと、お客様のニーズを満たすアプリケーションを開発するために、お客様のご要望にお応えします。 ULCoat技術 - ULS OMEGAモジュールと連動 - 薄層成膜に使用 - 50〜1000ナノメートルの厚みを調整可能 - 厚みのばらつきが±2%で均一 - 最大200 nm.cm2 / sの処理速度 - 標準バージョンはSiOx成膜に最適化されています。 射出ノズル プラズマへの注入前に、プリカーサーの流れをモニターすることができます。本モジュールは、以下の要素から構成されています。 - プリカーサタンク - プリカーサー流量制御 - ガス流量制御 - 加熱部(オプション) 直感的なデジタルインターフェイスタッチパネル - 一体型タッチスクリーン（OEMの場合はリモート） - 直感的な操作 - 多言語対応インターフェース - エラー検出とトラブルシューティング - インストラクションのリアルタイム表示 対応ガス - 空気 - 窒素 - その他の混合ガス