大量半導体アプリケーション向け小型シングルチャネル光ファイバ温度パイロメータ
Sekidenko OR400Tは、コンパクトなモジュラープラットフォームで正確な非接触温度と放射率測定を提供します。
•材料の種類と必要な温度範囲に基づいて波長を設定可能
•in-situ測定用のリモートレンズ付き光学センサまたはサファイアライトパイプ
•オプションのクローズドループ制御用のフィールドバスプロトコルを使用したアナログおよびデジタル通信
概要
Sekidenko OR400Tはシングルループです。チャネル、非接触光ファイバ温度パイロメーターは、物体から放出される赤外線エネルギーを測定し、使用可能な温度データ(°Fまたは°C)に変換します。 Sekidenko OR400Tは、ターゲット材料、プロセス温度範囲、100mm~3000mmの作業距離に基づいて、さまざまな測定波長に設定できます。 使用可能な温度範囲は、華氏122度~華氏2912度です。
メリット
•重要なプロセスの温度測定精度を
向上 •再現性の向上と変動の最小化
•生産性、歩留まり、スループットの
向上 •複数のチャンバおよび基板材料にわたる安定性と信頼性の向上
•独自の機能に合わせてカスタマイズおよび機械的要件
特徴
•レンズ付き光学センサまたはサファイアライトパイプセンサを使用した非接触温度測定
•業界をリードする温度と読み取り速度
•柔軟性の高いモジュールベースのプラットフォームアーキテクチャ
•完全なI/Oと外部トリガ/同期スイート
•マルチチャネル機能および最大2kHzの読み取り速度
---