光学式パイロメーター Sekidenko OR400M

デジタル固定型コンパクト

選択可能/固定放射率を備えたシングルチャネル温度測定機能 Sekidenko OR400Mは、より長い波長を必要とする半導体アプリケーションに不可欠な正確な温度測定を提供します。 •材料の種類と必要な温度範囲に基づいて設定可能な波長 •内蔵光学センサー •オプションのクローズドループ制御のためのフィールドバスプロトコルによるアナログおよびデジタル通信 概要 高度なエネルギーのOR400M光パイロメーターは、Sekidenkoの柔軟性を拡張します製品ファミリを3.3～5.2µmの中間IR波長範囲に組み込むことができます。 OR400Mは、薄膜ソーラー、ガラス、および高度な半導体プロセス向けのシングルチャネル温度測定機能を提供します。 OR400Mは、RS-232およびアナログ・データ・インターフェースをサポートします。 そのコンパクトな設計により、OR400Mは多くのプロセスアプリケーションの設置面積の小さい要件に容易に満たすことができます。 メリット •重要なプロセスの温度測定精度を 向上 •再現性の向上と変動の最小化 •生産性、歩留まり、スループットの 向上 •複数のチャンバおよび基板材料にわたる安定性と信頼性の向上 特徴 •非接触レンズ付き光学センサーを使用した温度測定 •自動周囲熱補正 •業界をリードする温度と読み取り速度 •柔軟性の高いモジュールベースのプラットフォームアーキテクチャ •完全なI/Oおよび外部トリガ/同期スイート