光ファイバーOEMモジュール Luxtron m920 Series

OEM向けの光ファイバ温度センシングは、-100～330ºC Advanced EnergyのLuxtron 4チャンネルm924および2チャンネルm922半導体モジュールで、エッチャーおよびウェハファブ機器の静電チャック、チャンバ、その他のデバイスの温度監視用に設計されています。 •コンポーネントのミックスとマッチング •現在の半導体Luxtronブランドのフルオロオプティックプローブと光ファイバエクステンションに対応 •内蔵 の校正テーブルで高精度測定が可能 •±0.05°Cまでの精度を達成可能（プローブ依存） 概要 Luxtron®m920シリーズ OEMソリューションは、2枚のボードとプローブを備えた電子モジュールアセンブリを使用して構築されています。 メインボードには、光ファイバ温度検出チャンネル、デジタル出力（RS232 ASCII および RS485 Modbus）、および電源接続が含まれています。 アナログ出力ボードは0～10Vまたは4～20mAの出力を提供し、メイン・ボードの上に取り付けられています。 オプションの金属製エンクロージャもご用意しています。 m920シリーズシステムは、フルオロオプティック® 技術を使用しています。 m920シリーズのメインボードは、フルオロオプティックプローブからの測定信号を調整し、較正された温度をOEM制御システムに報告します。 利点 •さまざまなエッチングおよびウェハファブプロセスで高精度と高温範囲を実現 •高速サンプルレートでより高速なランプ条件を監視 •この低ノイズソリューションでより良い温度測定を実現 •低故障率で高い信頼性を活用 •世界中でカスタム統合とプローブ設計をサポートするサポートを受ける