エッチングおよび蒸着アプリケーションにおける半導体用光ファイバー温度センサー
アドバンスドエナジーのLuxtron® M-1100は、最新のFluorOptic® 温度計(FOT)コンバータプラットフォームで、先進の光源と改良された超低ノイズ電子回路を特徴としています。VioLuxTMとRubiLuxTMの2つの新しい蛍光体配合を独自に開発し、-200~450℃の広い範囲で0.5℃の精度、再現性、安定性を実現しました。
測定範囲は-200~450℃で、高度なエッチングプロセスをサポート
先進の低ノイズ電子回路とアルゴリズムにより、0.05°より優れた精度を実現
AccuDisc™センサーにより、センサーをプローブから分離し、より高い精度と再現性を実現
経験豊富なチームがOEMのカスタムプローブ開発をサポート
コンパクトなDINレールサイズにより、工具や装置に組み込む際の設置面積を最小化
EMI、RF、高電圧、マイクロ波による電磁干渉を受けない
メリット
サーマルオフセットを最小限に抑える非接触測定
OEM機器への取り付けが容易
特長
広い対応温度範囲
高速応答で低ノイズレベル
1つのコンバーターで5チャンネル
柔軟な通信出力
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