光ファイバーパイロメーター Sekidenko 4100T

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波長範囲が設定可能なマルチチャンネル非接触光ファイバ温度パイロメータ セキデンコ4100T光ファイバー温度パイロメータ（OFT）は、対象物から放射される赤外線エネルギーを測定し、60～3500℃の温度範囲で使用可能な温度データに変換します。このパイロメーターは、対象材料、プロセス温度範囲、作業距離に応じて様々な測定波長に設定可能です。マルチチャンネル機能により、光ファイバーケーブルで接続された別々の光センサーで最大4つの測定チャンネルを使用できる。新しいタッチスクリーン・ディスプレイにより、ユーザーはラップトップなしで簡単に設定を調整することができます。 本装置は、スピードと精度が重要なプロセス要件である非接触温度測定において、より低い信号レベルを正確に測定し、より低い温度ターゲットを読み取ることで、優れた性能を提供します。マルチチャンネル機能を備え、最も要求の厳しい温度測定用に最高1kHzの高速読み取りレートをサポートしています。モジュラー設計で、各プロセスのアプリケーション固有の要件に容易に対応できます。 特長  ウェーハ間およびウェーハ内の均一性を向上  RF/EMI免疫温度センシング  1台で複数波長の測定が可能  RS-232/422、イーサネット、EtherCAT、およびトリガーと同期機能を備えたアナログ・インターフェース ユーザーメリット  現場での非接触温度測定  材料加工と分析  柔軟性の高いモジュールベースのプラットフォームアーキテクチャ 4100Tモデルは、RTP、レーザーアニール、HDPCVD、MOCVD、ALD、UV硬化、太陽電池の製造およびパッケージングで一般的に使用されています。