無線周波数プラズマ発生器 eVerest RF

eVerest™RFジェネレーターは、半導体産業が新たな転換期に向かって加速する中、変革的なプラズマ制御のニーズを満たします。設定可能なマルチレベルパルシングにより、瞬時またはユーザー定義のトランジションタイミングが可能です。さらに、広い周波数掃引範囲を持つ高速、高精度モデルベースの周波数チューニングにより、プロセスの安定性と制御性が向上します。これらの機能に加え、より高速なセットポイント応答、パルス状態開始時の制御されたオーバーシュート、および洗練されたPowerInsight by Advanced Energy™ IoTインテリジェンスが、次のテクノロジー・ノードに向けたプロセス・イノベーションを後押しします。 - 完全なRF供給システム、マッチング・ソリューションの複数のオプション、インテリジェントな同期化 - プログラム可能なマルチレベルパルスプロファイル内でのスピードと制御 - 高速RF出力応答とパルス状態の立ち上がり/立ち下がり時間 - 最大±10%の周波数可変範囲 - 設計されたdP/dZ安定性 - PowerInsight by Advanced Energy™ IoTエコシステム - 2 nm未満の成膜およびエッチング・プロファイルのための斬新なプロセス開発が可能 - ケーブル長に依存しないRF安定性で信頼性の高い点火を実現 - あらゆるプラズマシステムにシームレスに統合 - プロセススペースを拡大し、安定性ウィンドウを拡大 - 現地のサービスセンターによるワールドワイドな製品およびアプリケーションサポート