無線周波数プラズマ発生器 Paramount

動作の柔軟性に新たに焦点を当て、プロセス開発を進めましょう。Paramount® HF RFジェネレータは、広い出力範囲を提供し、複数の統合シナリオをサポートし、標準シリアル/アナログインターフェースやその他のオプションの通信インターフェースを装備しています。Paramount HFは、高アスペクト比デバイスに必要な高プラズマ密度とイオンエネルギーを可能にし、半導体プロセスツールの次のノードに向けたプロセスを高速化します。Paramountプラットフォームのデジタル・アーキテクチャは、正確なパワー・マネージメントを提供し、新機能の統合を合理化します。プラズマの変化をリアルタイムで検出することで、高出力と再現性の高い性能を実現します。また、内部保護リミットにより、信頼性の高い動作を実現します。 - フルデジタル制御 - 周波数調整、パルス化、パルス同期化 - リアルタイム出力およびインピーダンス測定 - アーク管理 - 位相同期（CEX） - プラズマの安定性とプロセスの再現性の向上 - RFパワーの精密制御 - プラズマの変化に素早く対応 - 特定のアプリケーションのニーズに容易に対応