RFマッチングネットワーク Navigator II

Navigator® llは、マイクロプロセッサ制御のステッピングモータードライブと高度なチューニングアルゴリズムを搭載しており、RFパワーの最適化が可能です。オプションの内蔵Z'Scan® II RFセンサーは、プロセスのパワーとインピーダンスをリアルタイムで分析し、プロセスのばらつきをすばやく特定して大幅に低減します。オプションのバーチャルフロントパネルソフトウェアを使用すると、ユーザーのコンピュータでモニタリングと制御ができます。 - チューニングアルゴリズムを強化したデジタルアーキテクチャ - パルスRF電力供給 - スイープ周波数動作 - 複数周波数アプリケーションのための相互変調歪み（IMD）イミュニティ - リアルタイム・プロセス・パワーおよびインピーダンス測定 - チューニング/マッチングの応答時間を短縮 - プロセス制御の強化 - ツールのスループットと製品歩留まりを向上