製造技術が進歩するにつれ、新しい材料やカソード設計は、プロセスの安定性やフィルムの再現性に大きな課題をもたらします。Ascent® AMS電源は、プロセス材料やカソード設計に関係なく、安定した再現性のある電力を供給します。AMSは高度なアーク管理を提供し、プロセスへの高速リカバリーと最大電力供給を可能にします。回復が極めて速いということは、アークを通して供給されるエネルギーが極めて低いということでもあり、基板の損傷を防ぎます。高出力アプリケーションの場合、Ascent AMS はプライマリ/セカンダリ構成で使用できます。一般的な用途には、100 kWを超える出力構成が含まれます。しかし、水冷/空冷を組み合わせた設計により、発電機の設置面積は最小限に抑えられます。
- アークマネージメントシステム™(AMS)技術 - 金属およびセラミックターゲット用にお客様による事前設定
- セットポイント補正™技術
- Arc Sync®技術 - 最大12台までのプライマリ/セカンダリ
- Ethernet、EtherCAT®、DeviceNet®、Profibus、RS-232/485、Ethernet/IP、アナログ通信
- 高いフィルム品質とスループットを実現
- フィルム、基板、装置へのダメージを低減
- 過酷なアーク放電条件下でも安定したスループットと電力供給を実現
- 容易な統合と制御
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