AC/DCパワーサプライ Ascent AP

調節可能技術ラックマウント

Acent®AP電源は、AE®の最高峰バイポーラパルスDC技術をベースに、高度なパルスシェーピング、および完全な電圧反転と自己調整アークパラメータを含む4ブロックプログレッシブアーク管理により、出力を最適化する能力を拡張します。このコンパクトなソリューションの特許取得済みのパルス化技術は、アークを積極的に抑制し、その広い動作範囲は、シングルおよびデュアルマグネトロンプロセスの柔軟性と材料イノベーションを拡張する材料オプションのロックを解除します。 - 広範な電力供給パラメーターによるプロセスのカスタマイズ - アーク抑制の段階的アプローチによる高度なプロセス管理 - コンパクトな単一ユニットソリューション（最大 30 kW） - 安定したスループットを実現する Set Point Compensation™ テクノロジー - さまざまなプロセス材料を可能にする広い動作範囲 - PowerInsight by Advanced Energy™との互換性 - 誘電体および導電膜の精密スパッタリング - プロセス制御、柔軟性、革新性の拡大 - 高い膜品質とスループット - 再現性が高く、カスタマイズ可能な膜 - アークダメージを低減した高出力レベル - 容易な統合と制御