供給用装置 Ascent DMS

Ascent® DMSシリーズは、デュアルマグネトロンスパッタリングにおいて、これまでにない容易な電力供給と制御を実現し、膜特性の精密なチューニングを可能にします。選択可能な周波数、レギュレーションモード、およびデューティサイクル、低蓄積エネルギー、および簡素化されたモジュール式システム構成により、Ascent DMSアクセサリーは真の次世代技術として際立った存在となっています。費用対効果に優れ、拡張性があり、汎用性が高いため、複雑さを最小限に抑え、品質を高め、スループットを向上させ、高度なプロセス革新を可能にします。 Ascent DMS MF-120パッケージは、バイポーラパルシングテクノロジーの利点を提供しながら、標準的なカソードに費用対効果の高い中周波電力を供給します。 - 膜価値の向上：再現性が高く、カスタマイズ可能な蒸着膜 - 所有コストの低減と生産性の向上 - 安定性が向上し、アークダメージが低減された高出力レベル - 容易な拡張性、統合、サポート - モジュール設計により、将来の機能拡張を可能にしながらも、必要な分だけの支払いが可能