リモートプラズマ源 MAXstream

Advanced EnergyのMAXstream™ラインは、チャンバークリーニング用の次世代リモートプラズマ源です。MAXstreamは、価格と性能を最適化するために3、6、8、10、12 SLPM NF3流量で利用可能です。長いチャンバー寿命と低パーティクル発生を保証するため、アドバンスドエナジーは実績のある差別化されたプラズマソース材料と技術を提供します。独自のデュアル点火コア設計により、クラス最高のプラズマ点火信頼性を実現します。信頼性の高いストライクエブリタイムイグニッションを特徴とするMAXstream RPSは、より安定した動作とRPSメンテナンスのためのより少ないダウンタイムを提供します。MAXstream RPSは、従来のRPSシステムとのドロップイン互換性を容易にし、デザインイン互換性を簡素化するだけでなく、新しい信頼性と再現性の高いソリューションへのシームレスなフィールドアップグレードを可能にします。 - 5つのモデル：低流量アプリケーション用MAXstream 300、高流量アプリケーション用MAXstream 600、800、1000、1200 - 高信頼性RPSがツールのアップタイムを最大化 - より高い性能と信頼性への容易な設計アップグレードパスのための、従来のRPSユニットとのドロップイン機能 - プラズマソース壁の冷却を強化し、熱膨張や化学侵食による損傷を低減 - 業界をリードするパワー制御のためのプラズマパワーのアクティブモニタリングと制御