無線周波数プラズマ発生器 Paramount Plus

新しいプラズマ・アプリケーションのためのマルチレベル・パルシングとパルス波形制御 パルスRF製品で最も広範な機能セットを入手できます。Paramount Plusは、正確なRFレギュレーション、高度なパルス操作、高度なデータ収集を提供します。Paramount Plusは、周波数1～60 MHz、パワーレベル1.5～15 kWという広範なRFエネルギーをカバーするように設計されており、必要な再現性と信頼性を提供します。 パラマウントプラス パルスRF電源 マルチレベルパルシング、パルス波形制御、およびパルスRF電源で利用可能な最も広範な機能セットを備えています。 パルスRF製品で利用可能な最も広範な機能セットを備えたParamount® Plus プラットフォームは、プロセス革新の限界を押し広げることを可能にし、市場最高の価値を提供します。 市場で最高の価値を提供します。優れたプラズマ安定性 正確なRFレギュレーション、洗練されたパルス操作、そして高度な 高度なデータ収集により、次世代ノードに必要なプラズマ制御の自由度を提供します。 を提供します。 ユーザーメリット 精密なRFおよびパルス制御 プラズマの安定性とプロセスの再現性の向上 プラズマ変化への高速応答 製造技術の進歩に対応する柔軟性と適応性 半導体アプリケーション PVD PECVD エッチング