リニアポジショニングステージ MPS50SL series

電動式単軸高精度

MPS50SLは、コンパクトで高性能なリニア位置決めステージです。実験室の限られたスペースに最適であると同時に、生産環境で要求される高い信頼性を提供します。スペースに制約のあるアプリケーションでの測定、テスト、正確なアライメント、コンポーネントの組み立てに最適です。 -精密ボールねじまたはリードスクリュー駆動 -DCサーボまたはステッピングモーター -クロスローラベアリング 精密研削ボールねじまたはリードスクリューは、卓越した精度、再現性、0.1ミクロンの超微細位置決め分解能を提供します。DCサーボモーターにはロータリーエンコーダが搭載されています。クロスローラリニアベアリングは、スムーズな移動と優れた可搬質量を提供します。 オプションの真空準備 MPS50SLは、オプションで10-6 Torrまでの真空準備が可能です。MPS50SLは、半導体製造・検査、光学加工、軍事・航空宇宙など、今日の要求の厳しい真空アプリケーションに最適なコンパクトステージです。