トランスレーションポジショニングステージ ANT95V-3

縦型電動式単軸

ANT95V-3は、リニアモーター駆動のウェッジ型垂直リフトステージです。ANT95ファミリーを含む他のステージと簡単に統合でき、優れた多軸性能を発揮します。 -高分解能（1nm）、繰り返し精度（100nm）、高精度（200nm）。 -1nm未満の位置決め安定性 -クリープ防止クロスローラベアリング -高い動的性能 オリジナルのANTシリーズのダイレクトドライブの利点はすべて、ANT95V-3ファミリーに受け継がれています。精密機器の量産に必要な堅牢性、高精度、高速位置決めを実現するのは非接触ダイレクトドライブ技術だけです。ANT95V-3ステージは、最高レベルの位置決め性能を達成するためにAerotechが開拓した高度なダイレクトドライブ技術を利用しています。このダイレクトドライブ技術は、高性能、ノンコギング、非接触、高速、高分解能、高精度です。このユニークなドライブとベアリングの組み合わせは、非常に小型で、高精度位置決め、ディスクドライブ製造、ファイバーアライメント、光学遅延素子作動、センサーテスト、スキャニングプロセスなど、滑らかで精密な動きが要求される多くの用途で目に見える利点を提供します。