XYZ軸配置システム HexGen HEX500-350HL

6 軸リニア6脚

エアロテックのHexGen®ヘキサポッドは、次世代の6自由度(DOF)位置決め性能の代表です。HEX500-350HLは、X線回折、センサー試験、高荷重デバイス操作などの用途に最適な高荷重、超精密六脚です。 -位置決め精度保証仕様の精密設計 -XYZで20 nm、θxθyθzで0.2 µradの最小インクリメンタル動作 -柔軟な構成とカスタマイズ -ご要望に応じて真空準備も可能 -ワークとツールの座標系を視覚化する強力な制御とソフトウェア モーションシステムの設計と仕様には、多くのトレードオフが存在します。HEX500-350HLは、高負荷容量、大移動量、高速、サブマイクロメートル精度を備え、アプリケーションの仕様に妥協を強いることはありません。 優れた構造設計 HEX500-350HLは、精密プリロードベアリング、ボールねじ、駆動部品で構成された6本の高精度ストラットで作動します。DCブラシ付きサーボモーターで駆動する競合他社の六脚とは異なり、HEX500-350HLはACブラシレス、スロットレスサーボモーターで駆動し、装置の寿命と性能を最大限に引き出します。サーボモーターはアクチュエーターボールネジに直接結合されており、ベルト、ギアヘッド、コンプライアントカップリングを使用する競合設計と比較して、駆動剛性の向上、位置決め精度の向上、最小インクリメンタルモーションの改善（XYZで20nm、θxθyθzで0.2μrad）を実現しています。ストラット・ピボット・ジョイントは、低摩擦と高剛性を実現するように設計されており、ヘキサポッド全体の性能を高めています。