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リニアポジショニングステージ ATX115SL(E) series電動式単軸精密
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 電動式
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 精密, ボールねじ
- ストローク
50 mm, 100 mm, 150 mm
(1.969 in, 3.937 in, 5.906 in)- 速度
60 mm/s, 100 mm/s, 220 mm/s
- 繰返し精度
0.15 µm, 0.2 µm, 0.5 µm
- 積載量
7 kg, 10 kg, 14 kg
(15.43 lb, 22.05 lb, 30.86 lb)
詳細
ATX115SLおよびATX115SLEリニア位置決めステージは、高精度クロスローラベアリングポジショナの性能と、ボールねじ駆動機構の利便性とシンプルさを兼ね備えています。ATX115SL(E)は、卓越したモーション性能とさまざまな高度なオプションや機能を備えており、高性能アプリケーションに最適です。
-オプションのセンターマウントリニアエンコーダによるダイレクトな位置フィードバック
-多彩な機能とオプションにより、大型機械への統合やスタンドアロンの位置決め軸として使用可能
-真空およびクリーンルーム対応バージョンをご用意。
-ThermoComp®を使用することで、変化する環境でも信頼性の高い性能を発揮
優れたモーション性能
ATX115SL/SLEは、アンチクリープクロスローラベアリングと精密研磨されたファインピッチボールネジを搭載し、優れた幾何学的性能と最小限の角度誤差のモーションを誇ります。公称移動量最大150 mmのATX115SL/SLEは、循環ボールベアリングを使用する他のステージと比較して、最小インクリメンタルステップサイズとインポジションの安定性に優れています。このため、ATX115SL/SLEは、センサーやカメラの垂直位置決め、光学系の集束、ビームラインの測定やマニピュレーション用途など、多くの高精度作業に最適です。
リニアエンコーダオプション
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