リニア配置システム HEX300-230HL series

XYZ軸6 軸6脚

エアロテックのHexGen®ヘキサポッドは、次世代の6自由度(DOF)位置決め性能を代表するものです。HEX300-230HLは、センサー試験からシンクロトロンサンプルの操作に至るまで、多くの用途に使用できる最高の中荷重、超精密六脚です。 -位置決め精度保証仕様の精密設計 -XYZで20 nm、θxθyθzで0.2 µradの最小インクリメンタル動作 -柔軟な構成とカスタマイズ -ご要望に応じて真空準備も可能 -ワークとツールの座標系を視覚化する強力な制御とソフトウェア 市場独自の性能 モーションシステムの設計と仕様には多くのトレードオフが存在します。HEX300-230HLは、その高速性とサブマイクロメートルの精度により、アプリケーション仕様の妥協を排除します。AerotechのHexGenヘキサポッドは、5 µm以下の位置決め精度仕様を保証する現在の市場で唯一のヘキサポッドです。 優れた構造設計 HEX300-230HLは、精密プリロードベアリング、ボールねじ、駆動部品で構成された6本の高精度ストラットで作動します。DCブラシ付きサーボモーターで駆動する競合他社の六脚とは異なり、HEX300-230HLはAerotechのACブラシレス、スロットレスサーボモーターで駆動し、装置の寿命と性能を最大化します。ACブラシレスサーボモーターをボールネジに直接結合することで、ベルト、ギアヘッド、コンプライアントカップリングを使用する競合他社の設計と比較して、駆動剛性の向上、位置決め精度の向上、最小インクリメンタルモーションの改善（XYZで20 nm、θxθyθzで0.2 µrad）が可能になります。