強化されたFiberAlign™ FAeシリーズは、クラス最高のドライブと最先端の軸制御技術を組み込んだ高性能フォトニクスアライニングシステムです。FAeシリーズは優れた精度と最小ステップサイズを実現します。モジュール設計により、高速、高分解能、高精度を維持しながら、アプリケーションに合わせて軸数、移動距離、負荷容量を選択することができます。
- 3~6軸フォトニクスアライメント
- 高分解能(2 nm)、繰り返し精度(100 nm)、高精度(300 nm)
- クリープ防止クロスローラベアリング
- 非接触ダイレクトドライブリニアモーター
- ダイレクトドライブロータリーとゴニオメーターオプション
- ラスター、スパイラル、またはパワーピーキングアルゴリズム
- 業界標準のパワーメーターへのインターフェース
自動生産
アライメント精度、高い歩留まりの追求、デバイス量の増加に伴い、精密で信頼性が高く、再現性の高いモーションシステムの必要性がますます高まっています。部品や製造工程が急速に変化するため、システム構成の柔軟性が必須となります。エアロテックのFAeシリーズは、これらすべての要件に対応し、満たします。堅牢なシステム部品の選択と数十年にわたる精密モーションの経験により、24時間365日の製造環境での大量生産が現実のものとなりました。
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