回転ポジショニングステージ ABRS series

電動式単軸高精度

当社のABRSシリーズ回転エアベアリングステージは、非常に薄型のパッケージで優れた角度位置決め、速度安定性、誤差運動性能を提供します。ABRSは、ウェハ検査、高精度計測、X線回折システム、光学検査および製造、MEMS/ナノテクノロジーデバイス製造の厳しい要件を満たすように設計されています。 -ゼロコギングモータによる優れた速度安定性 -優れたエラーモーションとウォブル性能 -薄型平面デザイン -機械的接触なし ABRSシリーズダイレクトドライブ回転ステージの設計は、ステージの高さを最小限に抑えるよう最適化されています。ステージの薄型化により、システムの有効動作高さを低減し、「スタックアップ」に関連するエラーを最小限に抑えます。低全高に加え、ABRSシリーズは、製品フィードスルー、レーザービーム伝送、ケーブルクリアランス、またはアプリケーション固有の要件に使用できるクリアアパーチャを提供します。