リニアナノ位置決めステージ ANT95L series

リニア サーボ モーター単軸クロスローラー

当社の第2世代ANT95Lリニアステージは、ナノメートルレベルのモーションおよび位置決めニーズに対応する最先端のソリューションです。分解能、精度、再現性、サイズ、信頼性を兼ね備えたクラス最高のステージです。さらに、優れた動的性能と強化された耐荷重能力を備えたANT95Lステージは、プロセスを増幅するための優れた選択肢です。 -強化された第2世代設計 -最小0.5 nmのインクリメンタルモーションを実現 - NEW -ナノメートルレベルの位置決め性能を最大100 mmの移動長で実現 -高精度クロスローラベアリングを採用し、優れた動的性能と余裕のある負荷容量を実現 -アイアンレス・ダイレクトドライブ・リニアモータにより、プロセスのスループットを最適化し、信頼性を最大化 -多軸アセンブリおよびモーションサブシステムに簡単に統合できる。 ANT95L ステージは、以下のような高精度で高動的な位置決めアプリケーションに最適です： -フォトニクスのアセンブリと検査 -ファイバーアライメントと最適化 -光学部品の製造、試験、検査 -センサー試験・認定 -半導体加工・検査 -研究及び実験室の適用