リニアナノ位置決めステージ ANT95-L-Z series

Z軸単軸クロスローラー

当社の第2世代ANT95LZステージは、垂直方向でナノメートルレベルの動きと位置決め性能を提供するために特別に設計されています。調整可能な超低摩擦空気圧式カウンターバランスにより、分解能、精度、再現性、サイズ、信頼性を兼ね備えたクラス最高のステージです。ANT95LZステージは、その優れた動的能力と強化された耐荷重性により、優れた垂直モーションが必要な場合に最適な選択肢となります。 -強化された第二世代設計 -最小1nmのインクリメンタルモーションを実現 - NEW -ナノメートルレベルの位置決め性能を最大50 mmの移動長で実現 -ユーザー調整可能な超低摩擦カウンターバランスにより、垂直方向で5kgまでのペイロードを正確にオフセット可能 -高精度クロスローラベアリングを搭載し、優れた動的性能と余裕のある負荷容量を実現 -アイアンレス・ダイレクトドライブ・リニアモータにより、プロセスのスループットと信頼性を最大化 ANT95LZ は、以下のような高精度と動的な位置決め性能が必要な多軸アプリケーションに最適です： -フォトニクスのアセンブリと検査 -ファイバーアライメントと最適化 -光学部品の製造、試験、検査 -センサー試験・認定 -半導体加工・検査 -研究及び実験室の適用