リニアナノ位置決めステージ ANT95R Series

回転電動式単軸

ANT95Rダイレクトドライブ回転ステージは、前例のない位置決め内安定性と0.01秒以下のインクリメンタルモーション性能を提供し、2つの精度等級で提供されます。コンパクトなサイズで、他のモーション軸やシステムとの統合が容易です。 -0.01秒角の分解能 -0.005秒角の位置決め安定性 -優れた誤差モーション仕様 -多軸構成 -高い動的性能 -限定回転と無制限回転の両方に対応 多軸機能 ANT95Rシリーズは、AerotechのANTリニアステージ製品と互換性があり、簡単に統合できるように設計されています。これらのステージを組み合わせることで、ほとんどすべてのナノ製造または検査用途に精度、安定性、小型性能能力を提供します。