AERZEN キャンドモータ式バキュームブロワは、密閉式容積式ブロワの一種です。
アグレッシブおよびニュートラルガスの搬送に最適です。これらの真空システムは、高出力、高信頼性、高効率のため、産業用高真空技術に有用です。
AERZEN キャンドモータブロワの利点が一目でわかります:
4種類のモーターバリエーションによる優れた多様性
垂直方向および水平方向に流れる柔軟性の高い真空コンポーネント
機械的強度の高いポンプ(HMの場合、最大230mbar)
窒素と水の消費量が少ない
ポンプ停止時間の短縮
中性ガスかアグレッシブガスか?アールゼンはその両方に対応するソリューションを提供します!
アーゼンのハーメチックシールドドライブ(HM)付き真空ブロワーは、中性ガスとアグレッシブガスの移送用に設計されており、産業用高真空技術に特に適しています。真空ブロワーは常にバッキングポンプ*と組み合わせて使用します。
このバッキングポンプは大気圧で作動を開始します。真空ポンプは通常約50~200mbarで接続され、ポンプダウンプロセスが始まります。用途に応じて、液体リングポンプ、スライディングベーンロータリー真空ポンプまたはスクリュー真空ポンプがバッキングポンプとして使用されます。アーゼンの周波数コンバーターと特別なパラメーターセットが付属している場合、大気圧からバッキングポンプで運転することも可能です。
用途
半導体産業
マイクロエレクトロニクス
フラットスクリーンの製造
レーザー技術
ソーラー技術
ヘリウム漏れ表示装置
化学プロセス技術
箔・ガラスコーティング
溶解炉の製造
水素の排出
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