真空モジュール

真空チャンバーモジュールは、真空またはシールド雰囲気下での少量生産パッケージのレーザー溶接用に設計されています。 フルサイズのグローブボックスの代わりとして、真空チャンバーモジュールはNOVA-6内に収まります。モジュールは真空チャンバー、真空ポンプ、安全過圧バルブ、ベースプレート、配管で構成されています。 真空ポンプはチャンバー内を数mBarの真空にします。この真空中で、レーザーはカバーガラスを通して溶接することができます。 オプションで、チャンバー（およびパッケージ）を制御された雰囲気で洗浄することもできます。ポンピングとフラッシングを2～3回繰り返すと、装置はパッケージを閉じるのに適した雰囲気になります。 - 低水分・低酸素 - 真空ポンプがチャンバー内を真空にします。 - カバーガラス越しのレーザー溶接 - 特殊品や少量生産品に最適