熱式質量流量計 PFLOW10U-2210

質量空気用水用

PFLOW: 医療およびプロセス制御アプリケーション 向けのOEM MEMS マスエアフローセンサ目詰まりおよび圧力衝撃に対する高い耐性を備え、 PEWATRONは最新のMEMSおよびマイクロエレクトロニクスの技術革新を取り入れた新しいMEMS マスエアフローセンサPFLOWをリリースしました。 PFLOWセンサは、目詰まりや圧力衝撃に対して非常に高い耐性を有します。 革新的なMEMS 熱絶縁設計のため、断熱用に脆弱な薄膜や表面キャビティを必要としません。 このセンサは低流量で非常に高い感度を持ち、プロセス業界の医療アプリケーションや高度なアプリケーションに最適です。 フロー・センシング・ダイは、ホット・ジャンクションを加熱するヒーター・エレメントから上下に対称的に配置された2つのサーモパイルで構成されています。 各サーモパイルは20 個の熱電対で構成され、最高レベルの感度を明らかにします。 流れがダイ上を通過すると、サーモパイルはゼーベック効果による高温接合部と冷接合部の間の温度勾配（非対称）に比例する出力電圧を生成します。 媒体が静的（流れなし）の場合、上流と下流の両方の温度プロファイルが対称になります。 0 ～ 10 SCCM ～ 0 ～ 2000 SCCM の 5 つの標準測定範囲と、10 ～ 2000 SCCM の顧客固有の測定範囲を提供します。 精度は + /-2.0% FSよりも優れており、温度補償されたアナログ出力（0 ～ 50 ℃）は流れに対して非常に直線的です。 アナログ電圧出力は1 ～ 5VDCで、センサは結露に強い。 応答時間は非常に高速で、約 1 〜 3ミリ秒です。