熱式質量流量計 PFLOW5001

質量ガス用RS485

Angst+Pfister Sensors and Powerの新しいマスフローメータとマスフローコントローラは、最新世代のMEMSセンサエレメントをベースにしています。卓越した精度と再現性に加え、センサーチップは窒化ケイ素で不動態化され、ナノ材料でコーティングされているため、優れた媒体耐性を実現しています。フローセンサーとコントローラーは、オープンエレクトロニクスとマニホールドアッセンブリー用マウンティングブロックを備えたOEMバージョンから、ハウジングとスウェージロック継手を含むマスフローコントローラー一式まで、さまざまなバージョンをご用意しています。電子インターフェースはシンプルなアナログ出力、Modbus RS232/RS485またはI2Cです。ご要望に応じてフルカスタマイズも可能です。 測定範囲 [SCCM］ 0～0.1...20SLPMまたは0～±0.1...±20SLPM 出力信号 リニア, 0.5...4.5 VDC, Rs485 Modbus, I2C 精度 [± % FS] max. ±1 r.d.または±0.2 f.s.の大きい方 電源電圧 [VDC］ 8...24 湿度範囲 0.95% RH、結露なきこと サプライヤー Angst+Pfisterセンサー＆パワー