質量流量センサー PFLOW202U-2210

エアアナログ出力シリコン

測定範囲 [SCCM］ 0...200 出力信号 リニア、1～5 VDC 精度 [± % FS] max. 2 電源電圧 [VDC］ 8...14 湿度範囲 0....100% RH、耐水結露性 接液材料 シリコンカーバイド, エポキシ, PPS, FR4, 静電シールとしてシリコン サプライヤー Angst+Pfisterセンサー＆パワー 製品概要 PFLOWシリーズは最新のMEMSとマイクロエレクトロニクスのイノベーションを取り入れた質量気流センサーです。センサーダイは一対のサーモパイルを使用し、質量流量による温度勾配の変化を検出します。センサー・ダイの「ソリッド・ステート」熱絶縁により センサーダイ上の「ソリッドステート」熱絶縁により、競合ソリューションで使用される表面キャビティや壊れやすい膜が不要となり、センサーの目詰まりや圧力衝撃に耐性があります。センサーの内部信号調整回路は、市販のマイクロコントローラーを活用しており、実証済みの信頼性と低コストを実現しています。 PFLOWシリーズマスエアフローセンサーは10sccmから2000sccmの範囲をカバーします。センサーは完全に校正され、0～50 °C (32～122 °F)の温度範囲で補正されます。リニアライズされたアナログ出力（1～5V）は、お客様に最大限の柔軟性と使いやすさを提供します。 ご要望に応じて、双方向風量バージョンもご用意できます。 ご要望に応じます。お問い合わせ