ガスマスフローコントローラPFLOWC5001シリーズ(OEMバージョン)は、汎用ガスフローモニタおよび制御アプリケーションに使用できます。
測定レンジ [SCCM]
0~0.05...20 SLPM
出力信号
リニア, 0.5...4.5 VDC, RS232, Rs485 Modbus
精度 [± % FS] max.
±1 r.d.または±0.2 f.s.の大きい方
電源電圧 [VDC]
8.24湿度範囲
0.95% RH、結露なきこと
サプライヤー
Angst+Pfister センサー&パワー
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