熱式質量流量調節器 PFLOW5002 ガス用マニホールド
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特徴
- 技術
- 熱式質量
- 流体
- ガス用
- その他の特徴
- マニホールド
- 流量
最大: 20 l/min
(5.28344 us gal/min)最少: 0 l/min
(0 us gal/min)
詳細
PFLOW5002 / PFLOWC5002 シリーズのガスマスフローコントローラは汎用のガスフローモニタ及び制御アプリケーションに使用できます。機械的接続には標準タイプとマニホールドタイプがあります。
測定レンジ [SCCM］
0～0.05...20 SLPM
出力信号
リニア, 0.5...4.5 VDC, RS232, Rs485 Modbus
精度 [± % FS] max.
±1 r.d.または±0.2 f.s.の大きい方
電源電圧 [VDC］
8...24
湿度範囲
0.95% RH、結露なきこと
サプライヤー
Angst+Pfister センサー＆パワー
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