円筒形マグネトロン

ドロップインとサイドマウントの完全なアセンブリは、3″（75mm）または5″（125mm）のバッキングチューブ直径を使用し、最大4メートルの長さで利用可能であり、最小のソース間間隔を持つ複数のインラインアレイは、コンパクトな高スループット生産システムで利用可能である。 ONYX-Revolution™は、どのようなターゲットタイプにも適合するようにカスタマイズされたターンアラウンドで、ユニバーサルでコスト効率の良いマグネットデザインを採用しています。また、低コストで長期的な投資と信頼性を実現するために、既製のコンポーネントで設計されています。 オングストローム・サイエンスの特許取得済みプロファイル・マグネット技術は、ソースと基板間の蒸着プロファイルをより正常なものにします。改善された蒸着プロファイルは、チャンバー壁へのデブリ蓄積を低減します。 さらに、アングストローム・サイエンシズのマグネットアレイは、より高い磁場強度を提供するため、ユーザーはスパッタリングプロセスを低電力で実行し、一般的な蒸着速度を達成することができます。 本来、シリンドリカルマグネトロンは、同じ空間面積を持つプレーナーマグネトロンの最大3倍の量のターゲット材料を保持することができます。Angstrom SciencesのONYX-Revolution™は、最大85%のターゲット利用率で、材料投資をさらに最適化します。さらに、より低いパワーレベルで動作させることで、通常20％の電力節約を実現します。