円形マグネトロン

オングストローム・サイエンス社の円形マグネトロンは、Angstrom Advantage™と、構成とプロセス性能においてほぼ無限の可能性を提供する他の多くの設計特徴により、スパッタリング業界の標準として認識されるようになりました。 そのコンパクトな設計により、当社の円形マグネトロンは、最小の真空チャンバー用の最も複雑なクラスターアセンブリを含む、あらゆる新規またはレトロフィットアプリケーションに理想的です。 低インピーダンスヘッドは、RF、DC、中周波DC、パルスDC、HiPIMS、マイクロ波パワーに対応します。 ISO NW標準継手とConflat®メタルシールフランジを使用しています。全てのユーティリティは大気圧に保たれ、標準のOリング圧縮継手を介してアクセスされるため、どのような真空システムにも簡単に設置できます。 円形マグネトロンソースは、1″(25mm)から16″(406mm)およびそれ以上のターゲット直径まで、標準またはカスタム構成で利用可能です。 当社の小型円形カソード上の特許取得済みのネジ式ターゲットクランプとアノードシールドは、補助工具を使用せずにターゲットを変更することができます。また、内蔵の調整機能により、間隔調整装置を使用せずに、さまざまな厚さのターゲットに適合させることができます。 ONYX®マグネトロンは、極めて低い圧力（10-4Torrの範囲まで）で運転することができ、当社の直接冷却設計は、最大250ワット/in2（30ワット/cm2）の連続運転で出力密度を提供することができます。