円形マグネトロン

基板を長時間高熱にさらす必要のあるアプリケーションのために、アングストローム・サイエンスの高温サーキュラー・マグネトロンは、カソードが高熱条件下でも性能パラメータを維持できるように、セラミック絶縁体と真空シールで最適化されています。200度、300度、450度の高温設計が可能です。 高温サーキュラーマグネトロンは、10-9mTorr範囲のベース圧力用に設計されており、熱サイクル中に発生する可能性のある変動に対して、リークや膜質の逸脱がないように特別に設計されています。