パルスマグネトロン

ロータリー

アングストローム・サイエンシズは、マグネトロンスパッタリングアプリケーションにもたらす最先端技術で国際的に知られています。この度、既存のMRC型マグネトロンに当社の特許取得済みプロファイル磁石設計をレトロフィットする方法を開発し、お客様のプロセスにAngstrom Advantage™をもたらします。 経済的なソリューション MRCマグネットレトロフィットは、既存のMRCアセンブリ全体を交換するコストの約3分の1で、当社のプロファイルドマグネットテクノロジーの性能上の利点を提供します。 -完全に密閉された磁石 -乱流防止 -熱効率の向上 -迅速で簡単なドロップイン設計 -シームレスな統合 -高利用率アレイ - 35%以上の目標利用率 -高均一性アレイ - 稼働率の犠牲を最小限に抑えながら均一性ゾーンを拡大 -高マグアレイ-厚さ0.500″までのニッケルのスパッタに最適化 -MRCインセット式アップグレード -クランプターゲット変換 -カスタムターゲット幅1.0"/1.5"/2.0"/3.0" -既存のシングル・スペースにデュアル・ターゲットを設置。 -あらゆるカソードに対応するコンプリートスパーツ。