パルスマグネトロン

ロータリーオーダーメイド

オングストロームサイエンスは、事実上あらゆる標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端のマグネトロンを提供しています。しかし、アプリケーションはそれぞれ異なることを知っています。そのため、お客様の仕様に特別に適応する独自のモジュラーアプローチを開発しました。 その他の機能 オングストロームサイエンスはマグネトロンの設計、エンジニアリング、製造、テストを社内で行っています。そのため、お客様のカスタムプロジェクトに対して最高の品質と管理を保証することができます。 オングストローム・サイエンスは、有限要素解析（FEA）磁石モデリングを使用して、お客様のプロセス仕様に合うように磁石をカスタムプロファイルします。 仕様に対応します。高レートとスループット、高均一性とターゲット利用率、あるいは両者の完璧なバランスなど、どのようなご要望にもお応えします。 お客様のプロセスに最適なAngstrom Advantage™を提供いたします。 カスタムマグネトロン、取り付け金具、フランジ、シャッターアセンブリ、ガスマニホールド、または完全な真空チャンバーが必要であろうとなかろうと、アングストローム・サイエンスは、お客様のプロセスに最適化されたAngstrom Advantage™を提供します。 オングストローム・サイエンスはお客様をサポートします。 カスタムマグネトロン、取り付け金具、フランジ、シャッターアセンブリ、ガスマニホールド、または完全な真空チャンバーが必要な場合でも、オングストロームサイエンスはお客様をサポートする準備が整っています。 オングストロームサイエンスはお客様をサポートいたします。 低インピーダンスヘッドは、RF、DC、中周波DC、パルスDC、HiPIMS、マイクロ波パワーに対応します。