タングステンスパッタリングターゲット

オングストロームサイエンスは、全金属シール、セラミック絶縁体、脱着可能なマグネットアレイを特徴とする "ONYX- UHV "を含む、UHVマグネトロン設計のフルラインを提供しています。完全溶接構造により、450℃までのベークアウトが可能です。ONYX- UHV "サーキュラーは、1″ (25mm) から16″ (400mm) までのターゲット径に対応し、標準的なONYX高真空カソードに見られるすべてのアクセサリー、マグネットセット、機能と互換性があります。ONYX-UHVリニアカソードは、カスタムターゲットサイズにも対応しており、どのようなアプリケーション要件にも対応します。また、「ONYX- HT」（高温動作用のオールセラミック絶縁体を備えた標準ONYXカソードの高温バリアントで、「ニア」-UHV性能を提供）もあります。 これらのマグネトロンはDC、RF、パルスDC、およびHiPIMS電源と互換性があります。また、挿入長、シャッター、ガスインレット、クロスコンタミネーションシールドなどのオプションも充実しています。