フラットマグネトロン

円筒形

アングストローム・サイエンシズは、マグネトロンスパッタリングアプリケーションにもたらす最先端技術で国際的に知られています。この度、既存の円筒形マグネトロンに当社の特許取得済みプロファイル磁石設計をレトロフィットする方法を開発しました。 経済的なソリューション 円筒形マグネットのレトロフィットは、既存の円筒形アセンブリを交換するコストの約3分の1で、上記のすべての利点を提供します。 -磁石はステンレス鋼で完全に密閉されています。 -高効率の水流 -既存のすべてのターゲット設計と互換性あり -シームレスな統合 -調整可能な均一性 -高度なターンアラウンドにより、より平坦なエロージョンプロファイルが得られます。 -蒸着プロファイルの改善により、チャンバー壁面へのデブリ蓄積を低減。 -より高い電界強度が、より低い出力レベルで一般的な蒸着速度を達成。