ロータリーマグネトロン

円筒形円形

高出力RFマグネトロンスパッタリングカソードは、特定の設計基準が建設に組み込まれていれば、研究開発および生産アプリケーションで成功裏に実施することができます。 円形ハイパワーRFマグネトロンは直接冷却され、外径2″～8″で入手可能です。 RFパワーは高周波で動作するため、マグネトロンスパッタリングカソードがそのパワーを抑制するように設計されていることが重要です。オングストロームサイエンスのハイパワーRFマグネトロンは、低反射電力とRF閉じ込めを提供しながら、RFエネルギーをターゲット表面全体に均一に供給するように設計されています。 ハイパワーRFマグネトロンは、サーキュラーとリニアの両方の構成でご利用いただけます。