L8EシリーズФ83高処理フィルターカートリッジは、TFT-LCD製造における現像、エッチング、基板洗浄、純水リンスなどのウェット処理アプリケーション向けに特別に設計されています。このフィルターは、さまざまな素材と幅広い除去率で提供されており、独自の構造と高いろ過面積により、交換と運用コストの削減を実現しています。また、各種プロセス液との相性も良く、G4-5プロセスで要求される100L/minに対応可能です。
特長とメリット
幅広い素材と除去率に対応
高いろ過面積と長寿命を実現しました。
大流量・低圧力損失
フィルター運用コストの低減
品質
管理された環境下で生産されたカートリッジ
ISO9001認証取得の品質マネジメントシステムで製造しています。
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