L13EシリーズФ131 超高スループットフィルタカートリッジは、基板洗浄、エッチング、ストリッピング、DI 水洗いなどのTFT-LCD 製造における湿式処理アプリケーション向けに特別に設計されています。 これらのフィルタは、独自の構造と高いろ過面積を備えた様々な材料と幅広い除去定格で入手可能であり、その結果、変更および運用コストが削減されます。 これらの製品は、G6-10プロセスに必要な200L/minを可能とするさまざまなプロセス液体との優れた互換性を持っています。
特長と利点
● 様々な材料と除去定格で利用可能
● 高いろ過面積と長い耐用年数
● 高流量と低圧力降下
● ろ過運転コストの削減 ● 制御された環境で
製造されたカートリッジ ●
ISO9001 認定品質マネジメントシステム
仕様
L13Eシリーズ湿式洗浄アプリケーション用フィルターカートリッジ
建設材料
膜
PP/PES/PTFE
サポート & 排水
PP
コア & ケージ
PP
エンドキャップ
PP
Oリング/ガスケット EPDM/Viton/TEV
シーリングテクノロジー
サーマルボンディング、接着剤なし
外径
131mm(5.2インチ)
長さ
10インチ
ろ過面積が
20.0フィート2(1.86 平方メートル)以上の
除去定格、μm
PP:2.0、4.5、10、20、30、40
PES:0.1、0.22、0.45、1.2
最大動作温度:1.0,100
℃(176 ℃)
最大順方向差動圧力
4.1バール @ 20 ℃ / 60 psid @ 68°
3.4バール @ 50 ℃ / 50 psid @122° F
1バール @ 80 ℃ / 45psid @ 176° F
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