オゾンは非常に熱に弱い。高温になると非常に早く破壊されてしまいます。排出されるエネルギーは、流入するガスを加熱するために使用されます。革新的なインシュレーターにより、エネルギー消費量はほとんどゼロになりました。供給ガスには酸だけでなく有機物も含まれています。タンクの洗浄が可能なので、クリーンなプロセスに適しています。また、金属や粒子を排出しません。デストロイヤーはメンテナンスフリーで、長い稼動寿命を実現しています。
+ 半導体製造工程
+ 水のボトリング
+ 食品・医薬品プロセス
+ 超純水 UPW
ガスの流れ1 ....400 Nl/h
材質:石英、ステンレススチール、PFA
コネクター:1/2インチ
電源は230V-50/60Hz
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