モジュール式のプロセスチャンバーは、さまざまな可能性を提供します。次のような点でカスタム設定が可能です。
+ ガスまたは空気の圧力
+ ガス量およびガスフラッシング
+ ロック
+ 照明または照射
+ 手袋
+ 温度、湿度、ガスドーピング、ガス組成
+ チャンバーの並列・直列接続
+ チャンバーのオープン、ロック、シーリング
+ 半導体産業
+ 医療・細胞研究
+ 化粧品開発
+ 動物実験
+ 肺の研究
+ 放出および侵入制限の発行
+ 材料試験
+ 道具・設備の殺菌
+ 物体表面の研究(衛生、防汚)
+ 生命科学試験
+ インキュベーター
+ センサーテスト
チャンバーの材質:ステンレススチール、プレキシグラス、ミネラルガラス
チャンバーサイズ: 120リットル
内寸T600 x W600 x H350 mm
真空技術PFEIFFER VCコンポーネント
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