クリーンルーム用層流モジュール

機械上部構造としての層流モジュール 層流クリーンエアモジュールは、製品保護設備として設計されています。正しく設置されれば、ISO 14644-1に準拠したクリーンルームクラス5がエアゾーン内で達成されます。クリーンエアゾーン内で放出された粒子やエアロゾルは外部に運ばれるため、このタイプのシステムは個人保護や環境保護を提供しません。充填ラインは一般的にLFモジュールの下に配置されます。フィルムカーテンは、外部との物理的バリアを提供するために使用されます。