M12/F40と同じ光学系でセンサヘッドM15.5/F40/FLEXを使って、様々な表面の振動や材料の変形を測定することもできます。 さらに、センサヘッドの調整を容易にする柔軟な構造が装備されています。ヘッドは1° の範囲で傾けることができます。 周囲条件用センサキットパッケージには、センサヘッドを干渉計コントローラに接続するためのガラスファイバー(長さ5m)が含まれています。 選択した環境オプションに応じて、センサヘッドをin-situ 接続するための追加ファイバも含まれています (/ LT/HV、/ RAD、/ UHV)。
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