質量流量調節器 MFC 2132

ガス用コンパクトアナログ

高速セトリング時間 1000:1 堅牢で安定した設計 IP 40 MEMSベースのスタンドアロン型マスフローコントローラ（MFC）は、遮蔽とIP40保護が要求されるOEMアプリケーション向けに設計されています。プラチナベースのMEMSチップ技術により、全流量範囲にわたって優れた安定性と再現性が保証されます。Axetris MFC モジュールは、比類のないダイナミックレンジとマルチガス対応能力により、複数の従来型マスフローコントローラーを 1 台で置き換えることができます。 コンパクトで堅牢な設計のため、リークテスト装置やその他のハンドヘルドシステムなどのポータブルアプリケーションにも最適です。 - 保護等級IP40のコンパクト設計 - 低メンテナンスで信頼性の高い制御性能 - お客様のご要望に応じた構成